Two-dimensional nanometer scale calibration based on one-dimensional gratings

J. Garnæs, L. Nielsen, K. Dirscherl, J.F. Jørgensen, J.B. Rasmussen, P.E. Lindelof, C.B. Sørensen

    Publikation: Bidrag til tidsskriftTidsskriftartikelForskning

    32 Citationer (Scopus)
    OriginalsprogEngelsk
    TidsskriftAppl.Phys.A
    Udgave nummer66
    Sider (fra-til)831
    StatusUdgivet - 1998

    Citationsformater